세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 전 연구원 등이 구속됐다. 

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 이 기술은 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술이다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(박진성 부장검사)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다.

검찰에 따르면 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다. 

A씨는 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정장비' 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.

A씨는 함께 구속 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 '매엽식 인산 세정장비 기술 정보'를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다.

또한 A씨는 2019년 7월∼22년 10월 회삿돈 27억원을 횡령한 것으로도 조사됐다. 이 과정에서 브로커 B씨는 A씨가 2020년 10월 11억원을 횡령하는 데 가담한 혐의를 받는다.

A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 구속 기소된 바 있다. 

그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다. 

[전국매일신문] 이재후기자 
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